尽管同期尼康基于F2光源(157nm)和干式微影技术的90nm产品和电子束投射(EPL)产品样机研制成功,但相对于尼康的全新研发,ASML的产品属于改进型成熟产品,在为半导体芯片厂商节约大量成本的同时实现工艺…...
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